szzhongtu5 发表于 2022-11-22 09:23:11

光学轮廓仪高效检测晶圆翘曲度

翘曲度是实测平面在空间中的弯曲程度，以翘曲量来表示，比如绝对平面的翘曲度为0。计算翘曲平面在高度方向最远的两点距离为最大翘曲变形量。
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翘曲度计算公式：
https://www.helloimg.com/images/2022/11/22/ZjxQ1b.png

晶圆翘曲度影响着晶圆直接键合质量，翘曲度越小，表面越平整，克服弹性变形所做的工就越小，晶圆也就越容易键合。晶圆翘曲度的测量既有高精度要求，同时也有要保留其表面的光洁度要求。所以传统的百分表、塞尺一类的测量工具和测量方法都无法使用。

以白光干涉技术为原理的SuperViewW1光学轮廓仪，专用于超精密加工领域，其分辨率可达0.1nm。非接触高精密光学测量方式，不会划伤甚至破坏工件，不仅能进行更高精度测量，在整个测量过程还不会触碰到表面影响光洁度，能保留完整的晶圆片表面形貌。测量工序效率高，直接在屏幕上了解当前晶圆翘曲度、平面度、平整度的数据。

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SuperViewW1光学3D表面轮廓仪

光学轮廓仪测量优势：
1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-10mm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

jungle 发表于 2022-11-22 09:23:48

新人求罩

覃征岫 发表于 2022-11-22 09:24:40

谢谢楼主的信息

bruo4233 发表于 2022-11-22 09:25:50

楼主资料能打包分享吗

谢直 发表于 2022-11-22 09:26:42

相当不错，感谢无私分享精神！

方村有 发表于 2022-11-22 09:26:42

难得一见的好帖

efan505 发表于 2022-11-22 09:27:09

LZ说的很不错

cen1543 发表于 2022-11-22 09:28:59

帮你顶下哈！！

yr435608026 发表于 2022-11-22 09:28:59

加油！加油~

lzp 发表于 2022-11-22 09:29:00

路过，学习下
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